干式真空泵的相關介紹,快來了解一下吧!
點擊次數:647 更新日期:2022-03-26
干式真空泵主要在半導體行業、化學工業、薄膜產業得到應用與發展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段,如日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,而歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產品的性能和質量。
為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。通過對內表面溫度的控制以滿足新的防爆條例的要求。由于能夠維持最小的內部溫度,從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應;輕松的輸送腐蝕性介質,安全的輸送易燃易爆氣體。
干式真空泵的特點:
1)清潔環保;
2)真空度高;
3)防腐設計;
4)可抽除可凝性氣體及少量粉塵氣體;
5)特殊軸封設計,杜絕被抽介質與潤滑系統互相污染;
6)防過載設計;
7)運轉平穩;
8)高標準配置;
9)附件配置齊全
10)優質健全的零配件供應。
干式真空泵是未來行業發展的趨勢,現在應用的不廣泛,除了價格高原因外,還有用戶對該款真空泵的了解不全面,短期內未體驗到給企業帶來的經濟效益,但是它所形成的無油真空,卻產生了不少益處。